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コンピューターグラフィックでG8サイズ基板の流れを表現しております

 

画面奥はカセットストッカー(カセットの自動倉庫)
カセットにはG8(約2m四方、厚み0.7mm程度)基板が数十枚搭載されています。
ストッカーより搬送された、カセットの位置決め動作を、対角で行います。
マッピングセンサーで、カセット内の基板の有無を検出
ロボットハンド(ロボット本体は省略)で、ガラス基板を取りに行きます。
加工装置の入り口に搬送、加工の済んだ基板を、出口より搬出。
カセットに戻します。

Mapping
Unpacker
LD/ULD
 
 

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