コンピューターグラフィックでG8サイズ基板の流れを表現しております
画面奥はカセットストッカー(カセットの自動倉庫) カセットにはG8(約2m四方、厚み0.7mm程度)基板が数十枚搭載されています。 ストッカーより搬送された、カセットの位置決め動作を、対角で行います。 マッピングセンサーで、カセット内の基板の有無を検出 ロボットハンド(ロボット本体は省略)で、ガラス基板を取りに行きます。 加工装置の入り口に搬送、加工の済んだ基板を、出口より搬出。 カセットに戻します。